百級、千級、萬級、十萬級凈化車間設(shè)計要求
100級、10000級、100000級、1000000級;凈化車間可根據(jù)要求設(shè)計、施工,百級、千級、萬級、十萬級潔凈室潔凈度。 一、凈化車間的規(guī)格: 凈化車間的規(guī)格一般適用于美國聯(lián)邦規(guī)格No.209B。這個規(guī)格對凈化間的環(huán)境要素即空氣潔凈度、溫濕度、室內(nèi)壓等都進(jìn)行了規(guī)格化規(guī)定。 但是,伴隨著潔凈凈化工程度的不斷提高,美國聯(lián)邦規(guī)格進(jìn)行了改版,其內(nèi)容主要是以潔凈度進(jìn)行分類。 最新版已成為No209E,名稱也進(jìn)行了變更。No.209E的級別表示是把0.5um以上的顆粒數(shù)為10x個/m3,把X表示成級別,同時加上米制M的意思,表示成M3.5等等。
在美國聯(lián)邦規(guī)格No.209B,美國聯(lián)邦規(guī)格No.209E。 在日本,相應(yīng)的規(guī)格是9920。9920的級別表示是把0.1um以上的顆粒數(shù)規(guī)定為10X個,用Y表示級別。9920的級別的主要內(nèi)容。
無塵車間不同用途所要求的潔凈度: 如前所述,凈化間的級別一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)4個級別。但根據(jù)各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的作業(yè)工序不同,形成必要的級別是不一樣的。例如,在半導(dǎo)體制造工廠等里邊,根據(jù)作業(yè)內(nèi)容,要求有M1(10)—M5.5(1000)的凈化間。而且,在制藥工廠里,根據(jù)產(chǎn)品的純度、作業(yè)工序,需有從M3.5到M6.5(100,000)范圍廣泛的級別不等凈化間。因此說,各種產(chǎn)業(yè)所需要的凈化間,其要求的潔凈度是不同的。
生物凈化間級別: 100級、10000級、100000級; 粒子生物粒子:室內(nèi)壓力Pa,mmH2O,溫度℃,濕度%氣流換氣次數(shù),照度Lx,粒徑um。
潔凈無塵車間潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。 2、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之水冷柜機(jī)+增壓新風(fēng)柜+高效送風(fēng)口與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積,水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房內(nèi)或凈化車間內(nèi),增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。
優(yōu)點(diǎn): A.空氣處理效果較好的,處理過后的空氣在送風(fēng)過程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度、濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組(增壓風(fēng)柜)里進(jìn)行控制; B.布置靈活。自帶冷源; C.大小廠房、新舊廠房都適用; D.維修頻率較低; E.車間噪音低。
缺點(diǎn): A.需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置; B.空調(diào)機(jī)組與空調(diào)處理機(jī)組要集中布置; C.造價較低。特點(diǎn):這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。 3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之分體空調(diào)柜機(jī)+FFU高效送風(fēng)口這是更簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來,在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));”梓凈”牌風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂送風(fēng)天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。
優(yōu)點(diǎn): A.不需要占用機(jī)房面積,布置很靈活的; B.可以滿足空氣的潔凈度; C.造價最低。如此類無塵車間初投資約需要40萬; D.送風(fēng)均勻度好。
缺點(diǎn): A.溫濕度控制較差; B.可以滿足空氣的潔凈度; C.FFU的維修頻率高。 4、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之無塵車間的特點(diǎn) A、無塵車間 潔凈無塵車間潔凈度: LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。 在本設(shè)計里是指末端工藝的一些無塵車間,其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產(chǎn)品的沖壓車間、組裝等無塵車間,其潔凈度一般為萬級或十萬級。
潔凈無塵車間室內(nèi)空氣參數(shù)要求: (1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。 (2)新風(fēng)量大。由于這類車間內(nèi),人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。 (3)送風(fēng)量大。為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風(fēng)量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬級,送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。
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